Камерная атмосферная печь серии SLQ

Разработана на основе камерной печи сопротивления серии SLX，модифицирована путём добавления вакуумной системы и системы подачи газа. Атмосферные печи характеризуются герметичностью внешнего корпуса, герметизацией крышки силикагелем, добавлением на дверь печи системы водяного охлаждения и силикагелевого уплотнителя, внедрением измерения расхода подаваемого газа. Печи применяются главным образом для создания атмосферы спекания, восстановления, осаждения паров (CVD), плавки.

Модель изделия

SLQ1700-30

SLQ1700-40

SLQ1700-50

Д×Ш×В, мм

300×200×200

400×300×300

500×400×400

Рабочее напряжение, В

220

380

380

Максимальная мощность, кВт

12

16

25

Нагревательный элемент

Высококачественный кремний-молибденовый стержень

Рабочая температура, ℃

300-1600

Скорость нагрева, ℃/мин

≤ 20

Вакуум

Используемый вакуум: ≤-0,02 МПа

Подаваемые газы

Кислород, азот, аргон, водород и другие инертные атмосферы

Давление атмосферы

Используемое давление атмосферы: ≤-0,03 МПа